日本UNION非接触式测量工具显微镜
HISOMET系列工具显微镜为一专业X、Y、Z轴座标测量显微镜，X、Y工作台行程由50×50mm到大行程500×500mm，放大倍数由5×至1000×。为求提高工件在Z轴深度/高度测量时的精度，Z轴对焦采用一砖利光学“裂像指示器”，结合精密的Z轴“Cross Roller Bearing”导轨，可测范围25 mm，精度高达1μm，配合特殊附件，测量分解度更可达0.5μm或0.1μm。
非接触式测量显微镜
对焦清楚后如下图：
应用实例：
技术规格：
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型 号
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DH II
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工作台行程mm
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50×50
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100×100
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100×200
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150×150
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150×300
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300×300
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500×500
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Z轴测量范围
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25mm
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25mm
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25mm
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25mm
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25mm
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25mm
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25mm
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X、Y、Z轴数显分解度
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0.001mm
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Z轴读数装置
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内置数显表／外置数据处理系统
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反射照明系统
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内置LED／外置冷光源
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标准目镜
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NWF10X
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标准物镜（W.D.12mm）
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PLM10X
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读数系统
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简易座标读数器
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多功能数据处理器
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测量软件电脑系统
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选购物镜
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PLM3X(W.D.8.5mm), PLM5X(W.D.19mm),
PLLWDM20X (W.D.11.2mm), PLLWDM40X(W.D.10mm),
SPLM50X (W.D.1.5mm), PLLWDM100X (W.D.5.0mm),
SPLM100X(W.D.1.0mm)
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